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 Lens heating impact analysis and controls for critical device layers by computational method 用计算方法分析和控制关键器件层的透镜加热影响
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期刊：Proceedings of SPIE 作者：Du Hyun Beak; Jin Phil Choi; Tony Park; Young Sun Nam; Young Seog Kang; et al 出版日期：2013-04-11 |
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