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 Ion-cutting of Si onto glass by pulsed and direct-current plasma immersion ion implantation 脉冲和直流等离子体浸没离子注入在玻璃上离子切割硅
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Microelectronics and Nanometer Structures Processing Measurement and Phenomena 作者：Fang-Liang Lu; D. Qiao; Ming Cai; Paul K. L. Yu; S. S. Lau; et al 出版日期：2003-09-01 |
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