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Process exploration of β-Ga2O3 blind hole processing by water-assisted femtosecond laser technology 水辅助飞秒激光加工β-Ga2O3盲孔工艺探讨
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期刊:Journal of Alloys and Compounds 作者:Kun Zhang; Zongwei Xu; Bing Dong; Shengnan Zhang 出版日期:2023-01-07 |
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