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 Interface structures of Al0.85Sc0.15N-on-Si thin films grown by reactive magnetron sputtering upon post-growth cyclic rapid thermal annealing 反应磁控溅射生长Al0.85Sc 0.15 N-on-Si薄膜后循环快速退火的界面结构
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期刊：Journal of Applied Physics 作者：Xiaohu Huang; Anna Marie Yong; Ming Lin; Siew Lang Teo; Jing Cao; et al 出版日期：2024-03-01 |
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