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标题
A concise subspace projection based meta-learning method for fast modeling and monitoring in multi-grade semiconductor process
一种基于简洁子空间投影的元学习方法，用于多级半导体工艺的快速建模和监控
相关领域
子空间拓扑 计算机科学 过程（计算） 投影（关系代数） 半导体器件制造 故障检测与隔离 断层（地质） 薄脆饼 人工智能 机器学习 数据挖掘 工业工程 算法 工程类 操作系统 地质学 地震学 电气工程 执行机构
网址
https://doi.org/10.1016/j.cie.2024.109914
DOI
10.1016/j.cie.2024.109914 doi
其它 期刊：Computers & Industrial Engineering
作者：Jingxiang Liu; Weimin Zhu; Guoqing Mu; Chun-I Chen; Junghui Chen
出版日期：2024-01-22
求助人
yunjun 在 2025-12-26 13:21:10 发布自浙江，悬赏 10 积分
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