The effect of acetylene flow rate on the uniform deposition of thick DLC coatings on the inner surface of pipes with different draw ratios

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标题	The effect of acetylene flow rate on the uniform deposition of thick DLC coatings on the inner surface of pipes with different draw ratios
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0042207X2...
DOI	10.1016/j.vacuum.2021.110720 doi
其它	期刊：Vacuum 作者：Xinyu Wang; Haibin Zhou; Shuaituo Zhang; Mingming Yan; Yan Lu; et al 出版日期：2021-10-31
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