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 Novel suppressor for damascene copper electrodeposition: Thioether-modified polyether with enhanced adsorption through an adjustable synthesis strategy 相关领域
铜互连
铜
吸附
硫醚
材料科学
化学工程
化学
冶金
无机化学
高分子化学
有机化学
工程类
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期刊：Electrochimica Acta 作者：Yue Zhang; Junye Chen; Yuanrong Cheng; Shuo Han; Fei Xiao 出版日期：2024-08-15 |
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(2025-6-4)
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