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标题
Suppression of Poly Depletion Effect by Optimizing Ion Implantation and Rapid Thermal Annealing Process in 55nm Nor Flash Technology
优化离子注入和快速退火工艺抑制55nm Nor闪光工艺中的聚耗尽效应
相关领域
PMOS逻辑 退火(玻璃) 材料科学 离子注入 光电子学 氧化物 热的 离子 掺杂剂活化 掺杂剂 闪光灯 电气工程 化学 复合材料 电压 冶金 工程类 兴奋剂 晶体管 有机化学 气象学 物理
网址
DOI
10.1109/cstic55103.2022.9856911 doi
其它 期刊:
作者:Hualun Chen; Jiahui Jiao; Hu Wang; Haochun Xiao; Zhaozhao Xu; et al
出版日期:2022-06-20
求助人
无机非 在 2023-08-29 13:13:00 发布自安徽,悬赏 10 积分
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