Formation of uniform square‐shaped tunnel pit by electrochemical etching with an opened polyimide layer on aluminum foil

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标题	Formation of uniform square‐shaped tunnel pit by electrochemical etching with an opened polyimide layer on aluminum foil 铝箔上开孔聚酰亚胺层电化学蚀刻形成均匀正方形隧道坑相关领域蚀刻（微加工）聚酰亚胺箔法铝箔材料科学铝图层（电子）电容溶解电化学复合材料冶金电极化学化学工程工程类物理化学
网址	http://onlinelibrary.wiley.com/wol1/doi/10.1002/sia.4961/ful...
DOI	10.1002/sia.4961 doi
其它	期刊：Surface and Interface Analysis 作者：Hwa‐Sun Park; Chang‐Hyoung Lee; Hyung‐Joon Cho; Tae‐Yoo Kim; Su‐Jeong Suh 出版日期：2012-05-11
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