Wet clean oxidation for optimal line width and LER

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标题	Wet clean oxidation for optimal line width and LER 最佳线宽和LER的湿清洁氧化相关领域直线（几何图形）环境科学计算机科学材料科学数学几何学
网址	https://doi.org/10.1117/12.3051476
DOI	10.1117/12.3051476 doi
其它	期刊：作者：S. McDermott; Keith Donegan; Colleen Meagher; W.L. Lo; J. A. Church; et al 出版日期：2025-04-22
求助人	淡然冬灵在 2025-05-21 14:06:37 发布自河南，悬赏 30 积分
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