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标题
Vacancy-Type Defects in HfO2 Layers and Their Role in Amorphous-to-Crystalline Transition Studied by Monoenergetic Positron Beams
单能正电子束研究HfO2层中的空位型缺陷及其在非晶向晶态转变中的作用
备注
只接受正式刊出版本。不要预印、proof或ASAP版本。谢谢！
网址
https://doi.org/10.1109/TSM.2025.3548450
DOI
10.1109/TSM.2025.3548450 doi
其它 期刊：IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
作者：Akira Uedono; Kazuya Kawakami; Tatsunori Kuribara; Ryu Hasunuma; Yosuke Harashima; et al
出版日期：2025
求助人
Singularity 在 2025-04-10 16:34:12 发布自福建，悬赏 10 积分
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