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  Deposition and Structures Analysis of Amorphous SiN Films Prepared by Magnetron Sputtering 磁控溅射非晶SiN薄膜的沉积与结构分析
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10.3964/j.issn.1000-0593（2009）05-1260-04
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10.3964/j.issn.1000-0593
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