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Preparation of YbAlN piezoelectric thin film by sputtering and influence of Yb concentration on properties and crystal structure

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作者
Masato Uehara,Yuki Amano,Sri Ayu Anggraini,Kenji Hirata,Hiroshi Yamada,Morito Akiyama
出处
期刊:Ceramics International [Elsevier BV]
卷期号:47 (11): 16029-16036 被引量:19
标识
DOI:10.1016/j.ceramint.2021.02.177
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