Surface Inspection of Silicon-on-Insulator Wafers with Ultra Thin Top-Si Layer by Laser Scattering

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标题	Surface Inspection of Silicon-on-Insulator Wafers with Ultra Thin Top-Si Layer by Laser Scattering
网址	https://iopscience.iop.org/article/10.1143/JJAP.45.630/pdf
DOI	10.1143/jjap.45.630 doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：E. Kamiyama 出版日期：2006-02-08
求助人	lgh 在 2026-09-20 15:48:35 发布自陕西，悬赏 10 积分
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