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High-Performance Solar-Blind Ultraviolet Photodetectors Based on β-Ga2O3 Thin Films Grown on p-Si(111) Substrates with Improved Material Quality via an AlN Buffer Layer Introduced by Metal–Organic Chemical Vapor Deposition
基于p-Si(111)衬底上生长的β-Ga2O3薄膜的高性能日光盲紫外光探测器通过金属——有机化学气相沉积引入AlN缓冲层改善材料质量
相关领域
材料科学 响应度 光电探测器 光电子学 金属有机气相外延 暗电流 薄膜 异质结 化学气相沉积 无定形固体 紫外线 图层(电子) 基质(水族馆) 外延 纳米技术 结晶学 化学 海洋学 地质学
网址
DOI
10.1021/acsami.3c07876 doi
其它 期刊:ACS Applied Materials & Interfaces
作者:Chong Gao; Yuefei Wang; Shihao Fu; Danyang Xia; Yurui Han; et al
出版日期:2023-08-02
求助人
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