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High-Performance Solar-Blind Ultraviolet Photodetectors Based on β-Ga2O3 Thin Films Grown on p-Si(111) Substrates with Improved Material Quality via an AlN Buffer Layer Introduced by Metal–Organic Chemical Vapor Deposition
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作者
Chong Gao,
Yuefei Wang,
Shihao Fu,
Danyang Xia,
Yurui Han,
Jiangang Ma,
Haiyang Xu,
Bingsheng Li,
Aidong Shen,
Yichun Liu
出处
期刊：
ACS Applied Materials & Interfaces
[American Chemical Society]
日期：2023-08-02
卷期号：15 (32): 38612-38622
被引量：50
链接
nih.gov
doi.org
标识
DOI：10.1021/acsami.3c07876
摘要
surface layer on the Si substrate during the initial growth of oxide thin films.
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