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 Aluminum nitride thin film growth and applications for heat dissipation 氮化铝薄膜的生长及其散热应用
相关领域
材料科学
氮化物
薄膜
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微观结构
复合材料
结晶
铝
粒度
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溅射
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工程类
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期刊：Surface and Coatings Technology 作者：Yingbin Bian; Moning Liu; Genshui Ke; Yigang Chen; Jim DiBattista; et al 出版日期：2014-12-01 |
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