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标题
Corrosion of SiC-coated graphite susceptor by NH3 and Cl2
NH3和Cl2对SiC涂层石墨基座的腐蚀
相关领域
材料科学 石墨 腐蚀 涂层 受器 冶金 微观结构 复合材料 开裂 外延 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2021.10.208
DOI
10.1016/j.ceramint.2021.10.208 doi
其它 期刊：Ceramics International
作者：Yang Wang; Jian Yang; Quan Li; Pan Chai
出版日期：2021-10-30
求助人
敏感的半梅 在 2025-11-24 14:36:07 发布自福建，悬赏 10 积分
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