Apparent and steady-state etch rates in thin film etching and under-etching of microstructures: II. Characterization

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标题	Apparent and steady-state etch rates in thin film etching and under-etching of microstructures: II. Characterization
网址	http://dx.doi.org/10.1088/0960-1317/20/5/055034
DOI	10.1088/0960-1317/20/5/055034 doi
其它	期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：Gregory Van Barel; Bert Du Bois; Rita Van Hoof; Jef De Wachter; Ward De Ceuninck; et al 出版日期：2010-04-29
求助人	gjy 在 2026-08-11 15:49:13 发布自山东，悬赏 10 积分
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