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标题
Design and Experiment of Push–Pull MEMS Resonant Accelerometers
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DOI
10.1109/jsen.2023.3298339 doi
其它 期刊:IEEE Sensors Journal
作者:Yunbo Shi; Jieyu Zhang; Fei Li; Yiwei Chen; Yuntian Qu; Huiliang Cao
出版日期:2023-07-29
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