Selective Barrier for Cu Interconnect Extension in 3nm Node and Beyond

已完结

文献求助详情

标题	Selective Barrier for Cu Interconnect Extension in 3nm Node and Beyond 相关领域互连可靠性（半导体）材料科学钝化阻挡层降级（电信）电容节点（物理）光电子学电子工程氮化钽缩放比例图层（电子）计算机科学复合材料电极工程类结构工程化学功率（物理）物理几何学量子力学物理化学数学计算机网络
网址	https://doi.org/10.1109/iitc51362.2021.9537559
DOI	10.1109/iitc51362.2021.9537559 doi
其它	期刊：作者：Shi You; Ren He; Mehul Naik; Lu Chen; Feng Chen; et al 出版日期：2021-07-06
求助人	自然的眼神在 2026-03-17 16:49:30 发布自江苏，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

National Center for Biotechnology Information

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

关注科研痛点，打通你的七经六脉

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 咖啡完成签到，获得积分10

23秒前; 风笛完成签到，获得积分10

27秒前; orixero上传了应助文件

1分钟前; 学术文献互助的应助被Wei采纳，获得10

1分钟前; monair发布了新的文献求助10

1分钟前; orixero的应助被隶书采纳，获得10

1分钟前; CodeCraft上传了应助文件

1分钟前; 科研通AI2S的应助被科研通管家采纳，获得10

1分钟前; 领导范儿的应助被科研通管家采纳，获得10

1分钟前; 稳重的冬易发布了新的文献求助10

1分钟前; 斯文败类的应助被稳重的冬易采纳，获得10

1分钟前; 春夏爱科研完成签到，获得积分10

1分钟前; 科研通AI2S上传了应助文件

1分钟前; Raymond的应助被Wei采纳，获得10

2分钟前; orixero上传了应助文件

2分钟前; 翻译度完成签到，获得积分10

2分钟前; 拉长的诗蕊完成签到，获得积分10

2分钟前; 隶书发布了新的文献求助10

2分钟前; 充电宝的应助被9527采纳，获得10

2分钟前; Wei发布了新的文献求助10

3分钟前; zsmj23完成签到，获得积分0

3分钟前; 今天是周几发布了新的文献求助10

3分钟前; NexusExplorer的应助被科研通管家采纳，获得10

3分钟前; 充电宝上传了应助文件

3分钟前; 9527发布了新的文献求助10

4分钟前; Lucas的应助被monair采纳，获得10

4分钟前; 斯文败类的应助被银杏叶采纳，获得10

4分钟前; Chen完成签到，获得积分10

5分钟前; 章鱼完成签到，获得积分10

5分钟前; koto发布了新的文献求助100

5分钟前; 科研通AI2S的应助被科研通管家采纳，获得10

5分钟前; 科研通AI2S的应助被科研通管家采纳，获得10

5分钟前; 斯文败类上传了应助文件

5分钟前; 稳重的冬易发布了新的文献求助10

5分钟前; 共享精神的应助被袁青寒采纳，获得10

6分钟前; 稳重的冬易完成签到，获得积分10

6分钟前; Lucas上传了应助文件

7分钟前; monair发布了新的文献求助10

7分钟前; 斯文败类上传了应助文件

7分钟前; 银杏叶发布了新的文献求助10

7分钟前