Ru:Al2O3 Resistive Coatings Fabricated by Atomic Layer Deposition for Application in Microchannel Plates

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标题	Ru:Al2O3 Resistive Coatings Fabricated by Atomic Layer Deposition for Application in Microchannel Plates 相关领域原子层沉积材料科学电阻式触摸屏薄膜电阻率和电导率退火（玻璃）铝分析化学（期刊）沉积（地质）图层（电子）钌微通道真空沉积复合材料氧化物电导金属钽化学工程电导率吸附光电子学氧化铝复合数氧化钌纳米技术冶金电极
网址	https://doi.org/10.1021/acsaenm.5c00676.s001
DOI	10.1021/acsaenm.5c00676 doi
其它	期刊：作者：出版日期：2025-10-24
求助人	来杯冰美式在 2026-03-10 09:03:27 发布自浙江，悬赏 10 积分
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