Structure and elastic properties of amorphous silicon carbon nitride films

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标题	Structure and elastic properties of amorphous silicon carbon nitride films
网址	http://link.aps.org/article/10.1103/PhysRevB.64.165305
DOI	10.1103/physrevb.64.165305 doi
其它	期刊：Physical Review B 作者：G. Lehmann; P. Hess; J.-J. Wu; C. T. Wu; T. S. Wong; et al 出版日期：2002-07-27
求助人	danli 在 2026-03-11 23:19:05 发布自美国，悬赏 10 积分
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