发布文献求助
求助中
  • 文献求助详情
标题
Simulation of statistical effects in exposure and development of EUV photoresists using the percolation and diffusion limited aggregation model
用渗流和扩散限制聚集模型模拟EUV光致抗蚀剂曝光和显影中的统计效应
相关领域
极紫外光刻 抵抗 渗流理论 渗透（认知心理学） 扩散 散粒噪声 噪音（视频） 光子 扩散限制聚集 极端紫外线 材料科学 弹丸 溶解 光学 统计物理学 物理 纳米技术 计算机科学 电导率 工程类 数学 化学工程 热力学 冶金 神经科学 量子力学 图层（电子） 生物 分形 探测器 激光器 数学分析 图像（数学） 人工智能 分形维数
网址
https://doi.org/10.1117/12.2515434
DOI
10.1117/12.2515434 doi
其它 期刊：
作者：Akira Sasaki
出版日期：2019-03-26
求助人
可爱的函函 在 2025-10-27 07:03:49 发布自江西，悬赏 20 积分
下载 暂无链接，等待应助者上传
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. Extreme ultraviolet (EUV) source and ultra-high vacuum chamber for studying EUV-induced processes
  2. Refined extreme ultraviolet mask stack model
  3. EUV emission from solids illuminated with a laser-plasma EUV source
  4. Quantitative measurement of EUV resist outgassing
  5. Development of Extreme-Ultraviolet Light Source by Laser-Produced Plasma
  6. Extreme ultraviolet resist outgassing and its effect on nearby optics
  7. Throughput compensation through optical proximity correction for realization of an extreme-ultraviol...
  8. Time exposure performance of Mo-Au Gibbsian segregating alloys for extreme ultraviolet collector opt...
  9. Optical Devices for Extreme Ultraviolet
  10. Pulsed Plasma EUV Sources
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 现在，等待您上传文献

  • 12小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    07:03:53 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    07:03:49 科研通AI机器人（北京）收到请求，开始寻找文献
    07:03:49 已向机器人发送请求

  • 12小时前

    可爱的函函 可爱的函函 Lv12 求助人 发起了本次求助

更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
Attendre完成签到 ，获得积分10
1秒前
long发布了新的文献求助10
1秒前
清秀LL完成签到，获得积分10
1秒前
3秒前
窦鞅发布了新的文献求助10
3秒前
wxyshare的应助被木头人采纳，获得10
3秒前
4秒前
Yolo完成签到，获得积分20
4秒前
6秒前
大意的静珊完成签到，获得积分10
7秒前
窦鞅完成签到，获得积分10
8秒前
Solitude_Z发布了新的文献求助10
8秒前
8秒前
heisa发布了新的文献求助10
10秒前
爬不起来发布了新的文献求助10
10秒前
浮游的应助被王伟娟采纳，获得30
11秒前
干饭魂完成签到 ，获得积分10
11秒前
逸之狐发布了新的文献求助10
12秒前
12秒前
大胆鞯完成签到，获得积分20
12秒前
热情的明轩完成签到，获得积分10
13秒前
大模型的应助被1111采纳，获得10
14秒前
wxyshare的应助被木头人采纳，获得10
14秒前
15秒前
15秒前
完美世界的应助被钦川采纳，获得10
16秒前
CodeCraft的应助被酷炫的紫山采纳，获得10
17秒前
儒雅惜筠完成签到，获得积分10
17秒前
天真惜天发布了新的文献求助10
18秒前
112312我的发布了新的文献求助10
18秒前
李爱国的应助被落叶的季节采纳，获得10
19秒前
FxF完成签到，获得积分20
19秒前
科研通AI2S的应助被zhangzhang采纳，获得10
20秒前
21秒前
天涯一迈完成签到 ，获得积分10
22秒前
李飞龙完成签到，获得积分10
23秒前
25秒前
25秒前
liquidwy发布了新的文献求助20
26秒前
Junjie完成签到，获得积分10
26秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Einführung in die Rechtsphilosophie und Rechtstheorie der Gegenwart 1500
Binary Alloy Phase Diagrams, 2nd Edition 1000
青少年心理适应性量表(APAS)使用手册 700
Air Transportation A Global Management Perspective 9th Edition 700
Socialization In The Context Of The Family: Parent-Child Interaction 600
DESIGN GUIDE FOR SHIPBOARD AIRBORNE NOISE CONTROL 600
热门求助领域 （近24小时）
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 内科学 生物化学 物理 计算机科学 纳米技术 遗传学 基因 复合材料 化学工程 物理化学 病理 催化作用 免疫学 量子力学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 4991289
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 4239820
关于积分的说明 13208366
捐赠科研通 4034700
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2207462
邀请新用户注册赠送积分活动 1218448
关于科研通互助平台的介绍 1136900
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通