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标题
On the coupling effect in the RF-biased inductively coupled plasma with the synchronous control
同步控制射频偏压电感耦合等离子体中的耦合效应
相关领域
物理 朗缪尔探针 感应耦合等离子体 消散 等离子体 偏压 原子物理学 射频功率放大器 联轴节（管道） 功率（物理） 温度电子 等离子体振荡 等离子体诊断 电压 光电子学 材料科学 放大器 量子力学 CMOS芯片 冶金
网址
https://doi.org/10.1063/5.0180963
AI链接 aip.orgdoi.org
DOI
10.1063/5.0180963 doi
其它 期刊：Physics of Plasmas
作者：Yi He; M. Lu; Xue Liu; Jiamin Huang; Jiawei Zhang; et al
出版日期：2024-02-01
求助人
娃哈哈 在 2025-08-09 16:38:48 发布自浙江，悬赏 10 积分
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