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[高分] On the behavior of rapid thermal CVD reactors
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网址
https://doi.org/10.1051/jp4:1993304
AI链接 archives-ouvertes.fr hal.science archives-ouvertes.fr archives-ouvertes.frdoi.org
DOI
10.1051/jp4:1993304 doi
其它 期刊：Journal de Physique IV (Proceedings)
作者：Салум Амер; S. Magnaudeix; P. Duverneuil
出版日期：1993-08-01
求助人
airplane 在 2025-10-28 12:57:47 发布自海南，悬赏 50 积分
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