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  Deep reactive ion etching of cylindrical nanopores in silicon for photonic crystals 光子晶体硅中圆柱形纳米孔的深度反应离子刻蚀
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期刊：Nanotechnology 作者：Melissa J. Goodwin; Cornelis A.M. Harteveld; Meint J. de Boer; Willem L. Vos 出版日期：2023-03-16 |
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