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标题
Experimental Determination of Si Self-Interstitial Emission During Oxide Precipitation in Czochralski Silicon
直拉硅中氧化物沉淀过程中Si自间隙发射的实验测定
相关领域
材料科学 降水 硅 氧化物 直拉法 氧化硅 冶金 气象学 氮化硅 物理
网址
https://doi.org/10.1149/2162-8777/ad670d
DOI
10.1149/2162-8777/ad670d doi
其它 期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology
作者：G. Kissinger; Dawid Kot; Andreas Sattler
出版日期：2024-07-24
求助人
Wxyz 在 2025-08-29 02:54:22 发布，悬赏 10 积分
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