Research on the Preparation and Application of Fixed-Abrasive Tools Based on Solid-Phase Reactions for Sapphire Wafer Lapping and Polishing

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标题	Research on the Preparation and Application of Fixed-Abrasive Tools Based on Solid-Phase Reactions for Sapphire Wafer Lapping and Polishing 基于固相反应的蓝宝石片研抛固着磨具的制备与应用研究相关领域蓝宝石研磨磨料抛光材料科学薄脆饼微电子化学机械平面化表面粗糙度表面光洁度质量分数光电子学复合材料光学激光器物理
网址	https://www.mdpi.com/2072-666X/14/9/1797/pdf?version=1695208...
DOI	10.3390/mi14091797 doi
其它	期刊：Micromachines (Basel) 作者：Linlin Cao; Xiaolong Zhou; Yingjie Wang; Zhen Yang; D. Chen; et al 出版日期：2023-09-20
求助人	健壮的紫菱在 2024-04-07 10:43:00 发布自陕西，悬赏 10 积分
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