Scalable integration of hybrid high-κ dielectric materials on two-dimensional semiconductors

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标题	Scalable integration of hybrid high-κ dielectric materials on two-dimensional semiconductors 杂化高κ介电材料在二维半导体上的可扩展集成相关领域材料科学半导体光电子学电介质场效应晶体管二硫化钼晶体管纳米技术原子层沉积单层图层（电子）电压电气工程复合材料工程类
网址	https://doi.org/10.1038/s41563-023-01626-w
DOI	10.1038/s41563-023-01626-w doi
其它	期刊：Nature Materials 作者：Yi Xu; Teng Li; Kailang Liu; Yinghe Zhao; Lei Liu; et al 出版日期：2023-08-03
求助人	小五在 2024-03-29 15:35:35 发布自福建，悬赏 10 积分
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