Computational Fluid Dynamics simulation of the ALD of alumina from TMA and H2O in a commercial reactor

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标题	Computational Fluid Dynamics simulation of the ALD of alumina from TMA and H2O in a commercial reactor 工业反应器中TMA和H2O氧化铝ALD的计算流体力学模拟相关领域计算流体力学分子动力学核工程动力学（音乐）材料科学计算机科学化学工程工艺工程化学工程类机械物理计算化学声学
网址	https://doi.org/10.1016/j.cherd.2018.02.031
DOI	10.1016/j.cherd.2018.02.031 doi
其它	期刊：Chemical engineering research & design 作者：G.P. Gakis; Hugues Vergnes; E. Scheid; Constantin Vahlas; Brigitte Caussat; et al 出版日期：2018-04-01
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