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标题
Direct Detection of Free H2 Outgassing in Blisters Formed in Al2O3 Atomic Layers Deposited on Si and Methods of Its Prevention
硅上Al_2O_3原子层气泡中游离H_2除气的直接检测及防止方法
相关领域
放气 水泡 材料科学 原子层沉积 冶金 化学 复合材料 图层（电子） 有机化学
网址
https://doi.org/10.1021/acsami.1c20660.s001
DOI
10.1021/acsami.1c20660.s001 doi
其它 期刊：
作者：
出版日期：2021-12-27
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xuerkk 在 2024-04-27 12:42:39 发布自陕西，悬赏 10 积分
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  • 11天前

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  • 11天前

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  • 11天前

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  • 11天前

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