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  Two-Step Deposition of Silicon Oxide Films Using the Gas Phase Generation of Nanoparticles in the Chemical Vapor Deposition Process 在化学气相沉积工艺中使用纳米颗粒的气相生成两步沉积氧化硅膜
相关领域
材料科学
硅
化学气相沉积
纳米颗粒
沉积（地质）
化学工程
氧化硅
燃烧化学气相沉积
薄膜
多孔硅
碳膜
纳米技术
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工程类
古生物学
生物
沉积物
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期刊：Coatings 作者：Jae-Ho Suk; Sung-Chun Hong; Gil-Su Jang; Nong‐Moon Hwang 出版日期：2021-03-23 |
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