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 Effects of Residual Stress on the Ferroelectric Properties of Al0.8Sc0.2N Films Sandwiched Between Pt or W Electrodes 残余应力对夹在Pt或W电极之间的Al0.8Sc 0.2 N薄膜铁电性能的影响
相关领域
铁电性
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期刊：IEEE Transactions on Electron Devices 作者：Xiaoxi Li; Yuan Fang; Bochang Li; Jiuren Zhou; Zhifan Wu; et al 出版日期：2025-01-01 |
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