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专利、报告等 The EUV-Lamp: A Discharge-Produced Metrology EUV Source
网址
https://doi.org/10.1117/3.2638242.ch11
DOI
10.1117/3.2638242.ch11 doi
其它 章节作者：Rainer Lebert; Christoph Phiesel; Thomas Missalla; Andreas Biermanns-Föth
章节题名：The EUV-Lamp: A Discharge-Produced Metrology EUV Source
所在书籍：Photon Sources for Lithography and Metrology
主编：Vivek Bakshi
出版社：SPIE Press
出版年份：2023
章节：Chapter 11
页码：413–476（书内印刷页码）
章节 DOI：10.1117/3.2638242.ch11
纸质版 ISBN：9781510653719
电子版 ISBN：9781510653726
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小巧静竹 在 2026-10-23 00:56:35 发布自上海，悬赏 20 积分
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