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标题
Optimization of an isotropic etching process on silicon wafers
网址
http://xplorestaging.ieee.org/ielx5/5740544/5746661/05746677...
DOI
10.1109/iemt.2010.5746677 doi
其它 期刊：2010 34th IEEE/CPMT International Electronic Manufacturing Technology Symposium (IEMT)
作者：Rozzeta Dolah; Hamidon Musa
出版日期：2011-04-12
求助人
潇洒天亦 在 2026-10-16 16:35:23 发布自江苏，悬赏 10 积分
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  • 8小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    16:35:26 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    16:35:23 科研通AI机器人（澳大利亚 悉尼）收到请求，开始寻找文献
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  • 8小时前

    潇洒天亦 潇洒天亦 Lv3 求助人 发起了本次求助

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