有谁见过IGZO(In:Ga:Zn=1:3:6)作为IGZO111(In:Ga:Zn=1:1:1)的刻蚀阻挡层的文献或者专利?

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smile
smile 来自广东 发表于:2025-01-19 19:27:11

TFT器件制作中(In:Ga:Zn=1:1:1)是最常见的IGZO薄膜,有谁见过IGZO(In:Ga:Zn=1:3:6)作为IGZO111(In:Ga:Zn=1:1:1)的刻蚀阻挡层的文献或者专利?


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