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有没有大佬有LPCVD制备氧化硅的文献，氧化硅作为钝化层，最好是应用在TOPCon电池上，实在找不到了

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兔兔不吐泡泡
兔兔不吐泡泡 来自中国， 发表于：2025-03-25 15:08:37

如题，球球了

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