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Evaluations of the microstructures at the interface between the semipolar (1013) AlN epilayer and the m-plane (1010) sapphire substrate

蓝宝石 材料科学 微观结构 基质（水族馆） 平面（几何） 光电子学 接口（物质） 结晶学 冶金 复合材料 光学 化学 几何学 物理 地质学 激光器 海洋学 毛细管数 毛细管作用 数学
作者
Xu‐Qiang Shen,Hirofumi Matsuhata,Kazutoshi Kojima
出处
期刊：CrystEngComm [The Royal Society of Chemistry]
日期：2023-01-01 卷期号：25 (37): 5296-5303
标识
DOI：10.1039/d3ce00700f
摘要
We investigate the microstructures at the interface between the semipolar (101̄3) AlN epilayer and the m -plane (101̄0) sapphire substrate using electron microscopy techniques.
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