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Reactive pulsed laser deposition of thin TiN films
作者
V. Crăciun,
D. Cracium,
Ian W. Boyd
出处
期刊：
Materials Science And Engineering: B
[Elsevier BV]
日期：1993-03-01
卷期号：18 (2): 178-180
被引量：39
链接
ac.uk
doi.org
标识
DOI：10.1016/0921-5107(93)90129-b
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