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Temperature dependency of the kinetics of PureB CVD deposition over patterned Si/SiO2 surfaces

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作者
V. Mohammadi,Negin Golshani,K. R. C. Mok,W.B. de Boer,Jaber Derakhshandeh,Lis K. Nanver
出处
期刊：Microelectronic Engineering [Elsevier BV]
日期：2014-04-03 卷期号：125: 45-50 被引量：21
标识
DOI：10.1016/j.mee.2014.03.015
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