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Fixed abrasive polishing: the effect of particle size on the workpiece roughness and sub-surface damage

抛光 磨料 粒径 表面粗糙度 化学机械平面化 材料科学 表面光洁度 粒子(生态学) 粒度分布 复合材料 冶金 工程类 化学工程 海洋学 地质学
作者
Xinyu Luo,Wei Yang,Qian Yuan
出处
期刊:The International Journal of Advanced Manufacturing Technology [Springer Science+Business Media]
卷期号:115 (9-10): 3021-3035 被引量:19
标识
DOI:10.1007/s00170-021-07363-1

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