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Promotion of boron diffusion and gettering by employing thin Al2O3 layer as a reaction barrier

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作者
Zhen Zhang,Ning Yang,Minglei Lu,Xiao Yuan,Xiaojun Ye,Cui Liu,Hongbo Li
出处
期刊：Journal of Materials Science: Materials in Electronics [Springer Science+Business Media]
日期：2021-03-06 卷期号：32 (7): 8205-8212 被引量：1
标识
DOI：10.1007/s10854-020-05124-6
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