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Study of ultrasonic vibration-assisted particle atomic layer deposition process via the CFD-DDPM simulation

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作者

Zoushuang Li,Junren Xiang,Xiao Liu,Bin Shan,Rong Chen

出处

期刊：International Journal of Heat and Mass Transfer [Elsevier BV]
日期：2023-05-15 卷期号：212: 124223-124223 被引量：7

标识

DOI：10.1016/j.ijheatmasstransfer.2023.124223

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