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Phase evolution and sintering behavior of high-performance IGTO sputtering targets

材料科学 烧结 溅射 相（物质） 复合材料 冶金 工程物理 纳米技术 薄膜 工程类 有机化学 化学
作者
Yongge Zhao,Wenyu Zhang,Xiaokai Liu,Hetao Zhao,Huiyu Zhang,Xina Liang,Yuan-Pei Yang,Jianhang Zhang,Benshuang Sun,Yang Liu,Xiaochao Wu,Jilin He
出处
期刊：Ceramics International [Elsevier BV]
日期：2024-11-01 被引量：1
标识
DOI：10.1016/j.ceramint.2024.11.418
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