制作
钛酸钡
材料科学
折射率
绝缘体(电)
薄膜
波导管
光电子学
干法蚀刻
高折射率聚合物
复合材料
蚀刻(微加工)
纳米技术
电介质
图层(电子)
医学
替代医学
病理
作者
Yu Cao,Hong‐Lin Lin,Haidong Liang,Andrew A. Bettiol,El Hadj Dogheche,Aaron J. Danner
标识
DOI:10.1109/ipc57732.2023.10360613
摘要
We present refractive index modification methods in thin-film barium titanate-on-insulator with a resultant index change up to 0.17, and propose dry etch free device fabrication methods for optical waveguide devices.
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