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Enhancing the defect contrast in ECCI through angular filtering of BSEs

探测器 材料科学 电子 对比度（视觉） 外延 光学 物理 纳米技术 核物理学 图层（电子）
作者
Han Han,Thomas Hantschel,Andreas Schulze,Libor Strakoš,T. Vystavěl,Roger Loo,Bernardette Kunert,R. Langer,Wilfried Vandervorst,Matty Caymax
出处
期刊：Ultramicroscopy [Elsevier BV]
日期：2019-12-24 卷期号：210: 112922-112922 被引量：8
链接
nih.govdoi.org
标识
DOI：10.1016/j.ultramic.2019.112922
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