SciHub
文献互助
期刊查询
一搜即达
科研导航
即时热点
交流社区
登录
注册
发布
文献
求助
首页
我的求助
捐赠本站
Evaluation of the membrane performance of ultra-smooth silicon organic coatings depending on the process energy density
等离子体增强化学气相沉积
膜
化学气相沉积
材料科学
渗透
等离子体
硅
功率密度
化学工程
分离过程
涂层
薄膜
沉积（地质）
分析化学（期刊）
化学
纳米技术
色谱法
光电子学
功率（物理）
量子力学
生物化学
生物
物理
工程类
古生物学
沉积物
作者
Lara Kleines,
Stefan Wilski,
Philipp Alizadeh,
Jens Rubner,
Matthias Weßling,
Christian Hopmann,
Rainer Dahlmann
出处
期刊：
Thin Solid Films
[Elsevier BV]
日期：2022-03-05
卷期号：748: 139169-139169
被引量：6
标识
DOI：10.1016/j.tsf.2022.139169
求助该文献
最长约 10秒，即可获得该文献文件
相关文献
科研通AI机器人已完成分析
对不起，本页面需要您登录以后才可查看
进入登录/注册页面
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
我的文献求助列表
浏览历史
一分钟了解求助规则
|
捐赠本站
|
历史今天
更新
⚡
2026年影响因子、分区
已更新！
(2026-6-17)
更新
📰 新增『新锐期刊分区』
(2026-3-24)
更新
💬 新增更精细的自定义提醒设置
(2026-1-4)
新增
🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻
(2026-1-2)
新增
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
舒服的灵安
发布了新的
文献求助
10
1秒前
情怀
的
应助
被
猫duoduo
采纳，获得
10
1秒前
害羞寒凡
完成签到，获得积分
10
1秒前
Sennie
发布了新的
文献求助
10
2秒前
爱学术的LaoD
发布了新的
文献求助
10
2秒前
FashionBoy
的
应助
被
乘风
采纳，获得
10
2秒前
CodeCraft
上传了
应助文件
2秒前
科研通AI6.2
的
应助
被
彬墩墩
采纳，获得
10
3秒前
安静乐瑶
发布了新的
文献求助
10
3秒前
科研通AI6.4
的
应助
被
勤奋谷梦
采纳，获得
10
4秒前
深情安青
上传了
应助文件
4秒前
害羞寒凡
发布了新的
文献求助
10
4秒前
虚拟的凡波
驳回了
NexusExplorer
的
应助
5秒前
丘比特
的
应助
被
沉静的万天
采纳，获得
10
5秒前
万能图书馆
的
应助
被
橙橙
采纳，获得
10
6秒前
醉熏的烤鸡
发布了新的
文献求助
10
6秒前
Nole
的
应助
被
liritobrc
采纳，获得
10
6秒前
东方元语
上传了
应助文件
6秒前
徐丢丢
发布了新的
文献求助
10
7秒前
科研通AI6.4
的
应助
被
肝骨轴
采纳，获得
10
7秒前
桐桐
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
7秒前
李爱国
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
7秒前
colaboy
完成签到
，获得积分
10
7秒前
小二郎
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
8秒前
罗毅
上传了
应助文件
8秒前
SciGPT
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
8秒前
情怀
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
80
8秒前
今后
上传了
应助文件
8秒前
深情安青
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
8秒前
CodeCraft
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
30
8秒前
JamesPei
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
9秒前
子木
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
9秒前
FashionBoy
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
9秒前
medmh
发布了新的
文献求助
10
9秒前
汉堡包
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
9秒前
任性子骞
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
9秒前
Singularity
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
9秒前
ABC
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
10秒前
ansteel
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
10秒前
一杯清茶
完成签到，获得积分
10
10秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】
10000
China Pluperfect I: Epistemology of Past and Outside in Chinese Art
520
Matrix Methods in Data Mining and Pattern Recognition Second Edition
510
Governing Growth: Us Industrial Policy from Hamilton to Trump
500
The fast track to determining transfer functions of linear circuits: The student guide
500
The Analytical and Numerical Solution of Electric and Magnetic Fields
500
Synthesis of P-Chiral Phosphine Ligands and Their Applications in Asymmetric Catalysis
400
热门求助领域
（近24小时）
化学
材料科学
医学
生物
纳米技术
工程类
有机化学
化学工程
生物化学
计算机科学
内科学
物理
复合材料
催化作用
细胞生物学
无机化学
光电子学
物理化学
电极
基因
热门帖子
关注
科研通微信公众号，转发送积分
7624721
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？
9199748
关于积分的说明
19723698
捐赠科研通
7195698
什么是DOI，文献DOI怎么找？
3273562
关于科研通互助平台的介绍
2435737
邀请新用户注册赠送积分活动
2269409
今日热心研友
Nole
637
6695
东方元语
306
5900
yjh123
104
5720
cdercder
372
2980
v0id
239
1960
张欢馨
55
2730
xing_xing
113
2120
Kao
150
1280
dde
154
1180
OK
2680
woshi123
59
1470
学术文献互助
1950
aajhajkahna
72
1203
pluto
61
1300
昏睡的蟠桃
1750
松2026
70
1000
天晴
55
880
行走的荷尔蒙
1435
ansteel
1400
科研狗
1350
注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
Nole
东方元语
yjh123
cdercder
v0id
张欢馨
xing_xing
Kao
dde
OK
woshi123
学术文献互助
aajhajkahna
pluto
昏睡的蟠桃
松2026
天晴
行走的荷尔蒙
ansteel
科研狗
皖公网安备34019202002308
