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作者
Timofey V. Perevalov,
В. Ш. Алиев,
V. A. Gritsenko,
Аndrey А. Saraev,
В. В. Каичев
出处
期刊：
Microelectronic Engineering
[Elsevier BV]
日期：2013-03-13
卷期号：109: 21-23
被引量：65
标识
DOI：10.1016/j.mee.2013.03.005
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