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Correlation of silicon microroughness with electrical parameters of SOI-AS (silicon-on-insulator with active substrate)
作者
Hasan M. Nayfeh
出处
期刊：Massachusetts Institute of Technology - DSpace@MIT
[Massachusetts Institute of Technology]
日期：1998-01-01
链接
handle.net
mit.edu
摘要
Thesis (M.S.)--Massachusetts Institute of Technology, Dept. of Electrical Engineering and Computer Science, 1998.
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